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在半导体光刻工艺中，涂胶显影冷水机作为温控系统的核心，其日常维护的严谨性直接决定了设备寿命与工艺稳定性。
一、清洁管理：遏制污染与散热失效
散热效率是冷水机稳定运行的基础，而清洁度是保障散热的核心。每日作业后需切断电源，用无静电软布擦拭外壳，清洁操作面板、显示屏及通风口的化学飞溅物与尘埃，防止污物渗入电路或遮挡参数显示。
二、水质控制：阻断结垢与腐蚀的生命线
冷却水质直接影响热交换效率与管路寿命。每日监控水箱液位，预防循环泵空转烧毁；水体浑浊或絮状物出现提示微生物超标，需立即启动杀菌程序。关键参数按周期检测：
电导率：每周检测，超过50μS/cm时更换去离子树脂；
化学指标：每月测试pH值、总硬度、氯离子，防止钙镁结垢侵蚀铜管或氯离子诱发点蚀；
超纯水管理：直接接触光刻胶的次级回路使用电阻率≥18MΩ·cm的超纯水，其储罐每月需高纯氮气吹扫并更换滤芯，杜绝微粒堵塞喷嘴风险。严格执行3个月换水周期：排水后以尼龙刷清除水箱生物膜，注水后添加钼酸盐类缓蚀阻垢剂，延长管路寿命。
三、机械与电气系统监测：从异响到电流的预警
机械振动与电气参数是设备健康的早期信号。每日开机10分钟巡检：耳听压缩机与循环泵是否平稳，尖锐啸叫提示轴承缺油或叶轮气蚀；手触电机外壳温度＞70℃需排查过载；目视检查管路接头渗漏，特别是蒸发器法兰密封处的水渍。电气系统量化监控：
电流均衡性：用钳形表测量三相电流；
电压稳定性：波动需控制在内，防止欠压导致绕组过热；
热点扫描：每周用红外热像仪检测配电柜接触器触头，局部温升＞15℃提示接触不良。传动轴承每500小时加注润滑脂，过量反而吸附灰尘加速磨损；机械密封泄漏量超过5滴/分钟时更换，阻断冷却水渗入电机绕组。
四、制冷系统深度维保：压力与冷媒的调控
制冷系统状态直接关联控温精度。冷媒纯度每月检测：取冷冻机油滴于试纸，油环浑浊表明冷媒酸化变质，需立即更换并抽真空；视液镜持续气泡显示冷媒缺失或干燥剂饱和。压缩机季度保养：检查润滑油位，发黑粘稠油体须更换；兆欧表检测绕组绝缘电阻＞5MΩ，预防漏电击穿。膨胀阀每半年校验过热度，调节时同步观察蒸发器出口霜线，避免液击或过热。
五、季节性防护：恶劣环境的主动应对
温度与湿度剧变是设备老化的加速器。冬季防护：停机超48小时需排空积水——关闭机组后开启水箱及管路低处球阀，用压缩空气吹扫蒸发器U形弯残留水。夏季高温应对：清洗冷凝器后喷涂亲水铝箔涂层提升换热率；机房温度＞40℃时增设工业风扇或预冷喷淋装置强制降温。高湿环境管理：梅雨季每日检查电气柜防潮硅胶，变色失效立即更换；
涂胶显影冷水机的日常维护，本质是与熵增的持续博弈：每一片擦拭的布痕、每一次水质的检测、每一分贝的异响捕捉，都在为图形的显影构筑确定性壁垒。
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